产品与服务
代理欧美先进半导体设备,提供全方位技术支持

EVG 设备代理
成立于1980年,总部位于奥地利,是半导体、MEMS、化合物半导体、功率器件和纳米技术器件制造的大批量生产设备和工艺解决方案的领先供应商。 作为先进封装和纳米技术的晶圆级键合和光刻领域公认的市场和技术领导者,EVG的主要产品包括晶圆键合,薄晶圆加工和光刻/纳米压印(NIL)设备,光刻胶涂布机以及清洁和检测/计量系统。
晶圆键合设备
EVG拥有超过25年的晶圆键合经验,是使用晶圆键合进行大批量生产的行业标准。
直接键合设备
EVG的低温等离子活化键合技术适用于直接键合制造SOI(绝缘体上硅),以及化合物半导体应用和MEMS器件等应用。
涂胶光刻显影设备
EVG在1985年发明了世界上第一套底部对准曝光系统,相关设备一直处于行业的领先地位

KDF 设备代理
KDF公司成立于1986年,是磁控溅射系统的专业制造商,其前身是著名的磁控溅射系统制造商MRC公司(MRC公司1963年开始从事磁控溅射系统的制造)。 KDF磁控溅射系统,应用于半导体硅器件,III-V族化合物器件,无线通讯元器件,集成无源器件(IPD),光电器件,薄膜电路,功率器件,微机械电子器件(MEMS),医疗器械,激光二极管,光子学和量子和表面涂料等广泛领域。
900i系列平面靶
适用于研发、中试线常规溅射应用
生产用嵌入式阴极
适用于大生产、贵金属应用
大尺寸溅射设备
适用于特殊行业溅射应用
技术支持
专业工程师团队,原厂培训认证,现场与远程双重保障
原厂培训认证
技术工程师均经过设备原厂专业培训,具备深厚的技术功底
现场技术支持
工程师可赴客户现场进行设备安装、调试与故障排除
远程故障诊断
通过远程方式快速诊断设备故障和工艺问题,缩短停机时间
备件供应
我们所提供的设备在中国设有原厂备件库,确保在配件发生故障时, 能够以高效快速的方式提供备件更换服务。
原厂备件库的建立大幅缩短了备件供应周期,有效降低客户设备停机时间, 保障产线持续稳定运行。
服务流程
从需求到交付,全程专业陪伴
需求沟通
了解客户设备需求与工艺要求
方案推荐
提供设备选型与技术方案
设备供应
原厂设备采购与交付
技术支持
安装调试与工艺优化
持续服务
备件供应与长期技术保障
需求沟通
了解客户设备需求与工艺要求
方案推荐
提供设备选型与技术方案
设备供应
原厂设备采购与交付
技术支持
安装调试与工艺优化
持续服务
备件供应与长期技术保障
